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潔淨室檢測方法

釋出時間◕·:2022-07-25      點選次數◕·:343


 

 

一₪✘·◕、測試目的

確認在無塵室釋放顆粒後₪✘,測量在多少時間內能恢復到釋放之前的潔淨水平☁↟₪。

二₪✘·◕、測試儀器

顆粒測試儀(品牌◕·:美國 MET ONE空氣粒子計數器)₪✘,型號◕·:HHPC2+₪✘·◕、HHPC3+₪✘·◕、HHPC6+3413₪✘·◕、3423₪✘·◕、3411₪✘·◕、3445₪✘·◕、顆粒釋放器☁↟₪。

三₪✘·◕、測試位置

任意抽取測量點₪✘,也可與相關人員共同確認測試點☁↟₪。

四₪✘·◕、測試步驟

1 .在測試開始之前要保證淨房空調系統正常運轉24以上₪✘,讓潔淨環境達到一個穩定的水平☁↟₪。

2. 在抽取的測量點放好顆粒計數器₪✘,先做顆粒潔淨度測試₪✘,記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數量₪✘,連續測試數分鐘₪✘,待取一個穩定的資料₪✘,此時₪✘,再將該房間的整個空調系統全部斷電☁↟₪。

3. 在該房間內釋放顆粒₪✘,使於外界非潔淨區域的顆粒自使整個潔淨室0.3um的顆粒濃度達到之前濃度的10100倍☁↟₪。此時再啟動空調系統₪✘,使其正常執行₪✘,測試該潔淨室內顆粒濃度恢復到之前水平所需要的時間 ☁↟₪。


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